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气体名称 |
化学式 |
规格（%） |
杂质（ppm） |
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氦气 |
He |
99.995 |
TCH4≤1 CO2≤1 Ne≤10 H2≤3 CO≤1 H2O≤10 |
| 99.999 |
O2≤1 TCH4≤1 CO2≤0.5 Ne≤4 H2≤1 CO≤0.5 H2O≤1 |
| 99.9995 |
O2≤0.5 TCH4≤0.1 CO2≤0.2 Ne≤1 H2≤0.1 CO≤0.1 H2O≤1 |
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氩 |
Ar |
99.99 |
O2≤10 THC≤10 N2≤50 H2≤5 H2O≤15 |
| 99.999 |
O2≤2 THC≤2 N2≤5 H2≤1 H2O≤4 |
| 99.9995 |
O2≤1 THC≤0.5 N2≤2 H2≤0.5 H2O≤1 |
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氢 |
H2 |
99.99 |
O2≤5 CO2≤5 N2≤60 TCH4≤10 CO≤5 H2O≤5 |
| 99.999 |
O2≤1 CO2≤1 N2≤5 TCH4≤1 CO≤3 H2O≤1 |
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氮 |
N2 |
99.99 |
O2≤50 CO2≤10 N2≤10 CO≤5 H2O≤15 CH4≤30 |
| 99.999 |
O2≤1 H2O≤2 H2≤1 THC≤3 |
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氧 |
O2 |
99.995 |
Ar≤20 CO2≤1 N2≤20 THC≤2 |
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二氧化碳 |
CO2 |
99.995 |
O2≤10 H2O≤5 N2≤20 CO≤1 THC≤10 |
| 99.999 |
O2≤1 H2O≤2 N2≤5 CO≤1 THC≤1 |
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一氧化碳 |
CO |
99.95 |
N2<350，O2<50，H2O<5 |
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二氧化硫 |
SO2 |
99.97 |
O2+N2<100，H2O<10，其他<200 |
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一氧化氮 |
NO |
99.5 |
N2O<4000、NO2<2000、N2<300、CO2<500 |
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二氧化氮 |
NO2 |
99.9 |
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氧化亚氮 |
N2O |
99.99 |
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氖 |
Ne |
99.995 |
H2≤2 N2≤5 He≤40 THC≤1 O2+Ar≤2 H2O≤2 |
| 99.999 |
O2≤1 N2≤5 H2O≤2 He≤10 |
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氪 |
Kr |
99.99 |
N2≤20 H2≤2 O2+Ar≤5 Xe≤50 H2O≤3 THC≤3 |
| 99.999 |
N2≤3 H2≤0.5 O2+Ar≤2 Xe≤4 H2O≤2.6 THC≤1 |
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氙 |
Xe |
99.99 |
N2≤20 Ar≤10 N2O≤1 O2≤2 H2≤2 Kr≤50 H2O≤3 THC≤3 |
| 99.999 |
N2≤3 THC≤1 N2O≤0.5 O2+Ar≤2 H2O≤2.6 H2≤0.5 Kr≤4 |
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硫化氢 |
H2S |
99.9 |
H2<200ppm、O2+N2<100ppm、H2O<3ppm |
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氯化氢 |
HCl |
99.9% |
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氯化氢 |
HCl |
99.99% |
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氯化氢 |
HCl |
99.999% |
N2≤4，CO2≤5，H2O≤1，O2+Ar≤1，TCH≤1 |
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液氯 |
Cl2 |
99.9 |
CO2<400、CO﹤10、H2<200，N2<100、O2<20、H2O<100 |
| 99.999 |
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氨 |
NH3 |
99 |
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| 99.999 |
O2<1.0ppm、N2<2.0ppm、CO﹤1.0ppmH2O<2.0ppm
THC（C1~C3）<1.0ppm |
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六氟化硫 |
SF6 |
99.99 |
O2≤10 H2O≤5 N240 HF≤0.1 CF4≤25 |
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合成空气 |
Air |
O2:19.5-22.5 |
H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤5 |
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零点空气 |
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O2:19.5-22.5 |
H2O≤5 CO/CO2≤0.5 THC≤0.1 |
